【塩化第二銅エッチング装置】 |
【高精細エッチング装置】 |
【高精細エッチング装置】 |
【現像装置】 |
【現像後水洗部】 |
【乾燥機】 |
【現像装置】 |
【現像装置】 |
【現像装置】 |
【現像装置】 |
【現像薬液槽】 |
【エッチング剥離装置】 |
【エッチング部】 |
【剥離部】 |
【剥離部】 |
【剥離後水洗部】 |
【乾燥機】 |
【エッチング剥離装置後方より】 |
【エッチング剥離装置・付帯側】 |
【エッチング剥離装置・剥離補給槽】 |
【エッチング剥離装置・剥離建浴槽】 |
【剥離部薬液槽】 |
【剥離部薬液槽】 |
【剥離部薬液槽】 |
【剥離部DF回収機】 |
【DF回収機】 |
【DF回収機】 |
【エッチング剥離装置・付帯側】 |